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 特種氣體在集成電路領域的應用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體分類：標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻， 穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和多元標準氣體，目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領域的需求，特種氣體在太陽能電池中的應用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

特種氣體分類：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域；我國特種氣體行業(yè)在 2006 年后進入快速發(fā)展階段，廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領域，特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。

我國特種氣體行業(yè)在 2006 年后進入快速發(fā)展階段，廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領域，特種氣體種類：廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產(chǎn)的特種氣體。特種氣體在集成電路領域的應用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。